SERIE G

Beschreibung

Die Serie G umfasst verschiedene Netzteile für Elektron- und Ionenstrahlgeneratoren, die in der Regel kundenspezifisch hergestellt werden, um den besonderen Erfordernissen in Hightech-Anwendungen gerecht zu werden. Stromversorgungen der Serie G können mit bis zu 96 geerdeten oder potenzialfreien Ausgängen, dynamischer Nachregelung, Strahlabschaltung, Auto-Fokus Funktion, Restwelligkeitsspannung von weniger als 1mV und Temperaturkoeffizienten von weniger als 22ppm/°C über den gesamten Temperaturbereich ausgerüstet werden.
Die Serie G ist für den Einsatz in Kundensystemen als Netzteil-Komponente bestimmt. Sie kann in Applikationen der Elektronenstrahl-Lithographie, Prüfung und Reparatur in der Halbleiterfertigung, bei Elektronenmikroskopen mit "Scanning" (SEM), Transmissionsmikroskopen (TEM), Elektronenstrahl-Ätzen (Etching) und fokussierter Ionenstrahl-Lithographie eingesetzt werden.

Unsere Verkaufsabteilung berät Sie gerne über unsere Möglichkeiten.

Merkmale

Zukunftsorientiertes Design
Hohe Leistungsklasse
Hohe Verfügbarkeit
Computer kontrollierbare Funktionen
Unterstützt TUNGSTEN & LaB6 Heizkreis
Fiber-Optik Kommunikationsschnittstelle

Anwendungsbereiche

Raster Elektronenmikroskope
Elektronenstrahl Systeme
Lithografie
Fokussierte Ionenstrahlsysteme
Halbleiterfertigungsüberwachung

Diese Serie ist in folgenden Modellen erhältlich:

Modell
G

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